Axcelis Technologies, Inc. se dedica a la fabricación de equipos de capital para la industria de fabricación de chips semiconductores. La empresa tiene su sede en Beverly, Massachusetts, y actualmente emplea a 1.524 empleados a tiempo completo. La empresa salió a bolsa el 11 de julio de 2000. La compañía se centra en el desarrollo de aplicaciones de procesos esenciales mediante el diseño, fabricación y soporte durante todo el ciclo de vida de sistemas de implantación iónica, uno de los pasos críticos y fundamentales en el proceso de fabricación de circuitos integrados. Sus productos de implantación iónica incluyen implantadores iónicos de alta corriente, de alta energía y de corriente media. Los sistemas Purion H, Purion Dragon, Purion H200 y GSD/E2 Ovation de haz puntual y alta corriente cubren todos los requisitos tradicionales de alta corriente, así como aquellos asociados con dispositivos emergentes y futuros. Sus sistemas Purion XE, EXE y otros sistemas Purion de alta energía combinan su tecnología probada en producción de haz puntual de alta energía RF Linac con el sistema de manejo de obleas de la plataforma Purion. Sus productos de implantación iónica de corriente media incluyen los sistemas Purion M Si y SiC de corriente media. La empresa también ofrece a sus clientes servicios y soporte posventa.