Axcelis Technologies, Inc. conçoit et fabrique des équipements industriels destinés au secteur de la fabrication de puces semiconductrices. L'entreprise a son siège à Beverly, dans le Massachusetts, et emploie actuellement 1 524 personnes à temps plein. Elle a fait son introduction en bourse le 11 juillet 2000. Axcelis se concentre sur le développement d'applications de processus essentielles grâce à la conception, la fabrication et l'assistance sur l'ensemble du cycle de vie des systèmes d'implantation ionique, l'une des étapes critiques et fondamentales du processus de fabrication des circuits intégrés. Ses produits d'implantation ionique comprennent des implants ioniques à courant élevé, à haute énergie et à courant moyen. Les systèmes Purion H, Purion Dragon, Purion H200 ainsi que les systèmes à faisceau ponctuel GSD/E2 Ovation couvrent à la fois les exigences traditionnelles de courant élevé et celles liées aux dispositifs émergents et futurs. Les systèmes Purion XE, EXE et autres systèmes Purion à haute énergie combinent une technologie éprouvée de linac à radiofréquence (RF) haute énergie avec le système de manipulation des plaquettes du plateau Purion. Les produits à implantation ionique à courant moyen incluent notamment les systèmes Purion M Si et SiC à courant moyen. L'entreprise propose également à ses clients des services et un soutien après-vente.