MKS Instruments, Inc. 为制造流程提供仪器、系统、子系统和过程控制解决方案,用于测量、控制、供电、监控和分析工艺参数,以提高客户的工艺性能和生产效率。公司总部位于马萨诸塞州安多弗,目前拥有10,100名全职员工。公司的业务部门包括真空解决方案事业部(VSD)、光子解决方案事业部(PSD)以及材料解决方案事业部(MSD)。VSD部门为前沿半导体制造、电子与封装以及特种工业应用提供基础技术解决方案。VSD产品源于其在压力测量与控制、流量测量与控制、气体与蒸汽输送、气体成分分析、电子控制技术、反应性气体生成与输送、电力生成与输送以及真空技术方面的核心技术能力。PSD部门为半导体制造、电子与封装以及特种工业应用提供一系列仪器、元器件和子系统。MSD部门开发用于先进表面改性、化学镀和电镀以及表面处理的工艺和制造技术。