Entegris, Inc. développe, produit et fournit des matériaux spéciaux destinés à l'industrie de la microélectronique. Le siège de l'entreprise est situé à Billerica, dans le Massachusetts, et elle emploie actuellement 8 000 personnes à plein temps. L'entreprise a fait son introduction en bourse le 11 juillet 2000. Ses segments comprennent Materials Solutions (MS) et Advanced Purity Solutions (APS). Le segment MS propose des solutions basées sur les matériaux telles que des produits pour le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et le dépôt atomique en couche (ALD), des pâtes et des disques pour la planarisation chimio-mécanique (CMP), des gaz spéciaux pour l'implantation ionique, des produits formulés pour l'attaque et le nettoyage, ainsi que d'autres matériaux spéciaux. Le segment APS propose des solutions de filtration, de purification et de contrôle de la contamination qui améliorent le rendement et la fiabilité des composants électroniques en assurant la pureté des produits chimiques liquides et des gaz critiques ainsi que la propreté des wafers et autres substrats utilisés tout au long des processus de fabrication des semi-conducteurs, dans l'écosystème des semi-conducteurs et dans d'autres industries à haute technologie. L'entreprise possède des installations de fabrication, de service à la clientèle et/ou de recherche aux États-Unis, au Canada, en Chine, en Allemagne et dans d'autres pays.